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开展超高纯电子化学品多级纯化技术、功能型配方化学品、化合物半导体材料、光刻胶及配套材料4项重点任务攻关,突破微电子关键化学品“卡脖子”技术,助力国际一流电子化学品专区建设。
微电子关键化学品
主要研究内容
1.
超高纯电子化学品中痕量杂质分析测试方法开发
2.
电子特气多级纯化新技术
3.
清洗液中活性物对有机杂质和金属缓蚀性机理研究
4.
抛光液中纳米磨料的成核和生长机理研究
5.
高纯磷化镓单晶制备技术
6.
重氮萘醌型感光剂中金属离子、颗粒物的高效提纯工艺
7.
感光剂中超微量金属离子、颗粒物含量测试技术
8.
新型G/I线光刻胶产品复配工艺
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